在環保行業汙水處理的發展過程中，近年來臭氧氧化工藝越來越廣泛的應用於印染、石化、造紙、煤化工、紡織、香料、製藥、電子等行業的工業廢水處理工程中，但是臭氧氧化在處理時的選擇性相對較強，對於不同行業所排放的工業廢水來說適用性差別較大，即使是同一行業產生的工業廢水也會因為生產原料、以及生產工藝的不同，造成廢水的濃度和成分產生區別而使臭氧氧化的適用性發生一定改變。臭氧氧化工藝在處理汙水時，不是對所有難降解汙染物都有顯著地去除作用，也不是所有的難處理工業廢水都能適用。如果臭氧氧化處理後不能達標，還可以使用其他物化處理工藝例如Fenton法、超聲波、電解、反滲透、離子交換、電滲析或者其他高級氧化工藝進行處理。
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